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专利摘要:本申请涉及一种晶圆探针台检测路径规划方法、装置、计算机设备和探针台,根据路径规划方向和针卡的工位数据,获取针卡的中心工位;从晶圆扩展图的规划起点位置,根据针卡的中心工位在晶圆扩展图的当前行/当前列进行跳列/跳行,将晶圆扩展图上针卡对应位置存在测试晶粒时,中心工位所在位置作为测试点;在跳转到晶圆扩展图的结束列/结束行时,根据针卡的中心工位在晶圆扩展图进行跳行/跳列;在跳行/跳列后新的当前行/当前列,再次根据针卡的中心工位进行跳列/跳行,将晶圆扩展图上针卡对应位置存在测试晶粒时,中心工位所在位置作为测试点,直至达到晶圆扩展图的结束行/结束列;根据获取的各测试点进行路径规划,得到晶圆测试规划路径。